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第1614章 如果上帝为我关上一扇窗,那就直接把房顶掀了

波一愣,接着匆匆离开。

但仅仅几分钟后,又去而复返。

“各位!”栗亚波打断了讨论和庆祝。“常院士让我立刻通知大家,尽快去顶楼会议室集合!”

张汝宁脸上的笑容瞬间收敛,严肃起来:

“栗教授,什么事这么急?”

他看了看旁边的设备,还有电脑屏幕上的数据:“实验方面还有些收尾和重复验证……是需要所有人都过去么?”

“老师说,他找到了一种全新的理论方法!”

可能是因为之前一路跑过来的缘故,栗亚波的呼吸有些急促:

“可以替代现有体系,对偏振像差进行描述和理论解释。”

此话一出,就连正坐在电脑前分析数据的何修军都停下了手上的动作,转过头来看向栗亚波。

“替代琼斯矩阵?”

不止一个人脱口而出。

在传统光学系统的成像过程中,大多是将光看做标量处理,而忽略其矢量特性。

但在投影光刻物镜中,当数值孔径na不断增大时,光的矢量特性对成像效果影响也会逐渐增大。

尤其对于3g浸没液和镥铝石榴石这样na值预计会大于1.70的系统,传统标量像差理论已经不足以完全表征光学系统的成像性能。

必须使用偏振像差理论。

然而,偏振相差甚至没有一种完善的描述形式,穆勒矩阵和琼斯矩阵各自有无法适用的范围。

如果能解决这个问题,无疑是补上了超高精度成像领域的一个缺口。

张汝宁瞬间做出决断:

“先暂停手头的所有实验操作,锁定设备状态!”

“小何,注意保存好所有数据。”

“所有人,跟我上楼!”

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